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Micro-Optics and Services

Axetris AGは、屈折マイクロ光学レンズやレンズアレイから、シリコンや溶融シリカの回折光学素子まで、UVから中赤外までの全波長範囲をカバーする、幅広いマイクロ光学製品を顧客に提供しています。 Axetrisは、電気通信、光セン​​シング、計測、レーザーシステム、3D写真、医療アプリケーションなどのさまざまな業界のお客様にサービスを提供しています。Axetris標準マイクロ光学製品には、高出力レーザーダイオードバー、ファイバーマイクロレンズアレイ用の高速および低速軸コリメータ、端面発光レーザーダイオード、VCSEL用の非球面マイクロレンズ、アレイが含まれます。
当社のエンジニアリングチームと製造チームは、屈折光学系と回折光学系のシミュレーション、設計、製造、計測の幅広い経験を兼ね備えています。当社の光学エンジニアリングおよび製造チームは、プロトタイピングから量産までお客様をサポ​​ートし、特定の設計目標の達成を支援します。

電気通信業界では、Axetris非球面および球面マイクロレンズとレンズアレイは、WSS、Coherent-ICR、ACO、変調器、µITLA、および100G / 400G / 1Tコンポーネント用のTOSA&ROSAなどの非常に高い結合効率を必要とする高速コンポーネントで使用されます。 Axetrisは、スイスで独自の6インチから8インチのウェーハMEMSファウンドリを運営しており、お客様は優れた製品価値、一貫した高い製品品質、卓越した顧客サポートの恩恵を受けています。

Further capabilities
・メタライゼーションおよびはんだパッド
・アライメントマーク
・両面加工
・機械構造またはDRIE構造

Capabilities

屈折レンズ
円形および円柱レンズ
開口部直径15〜2000 µm
最大100 µmのサグ
 
回折要素
2レベルまたは複数レベル(4または制限付きの8)
1.5 µm以上のサイズ(期間3 µm)
 
材料
シリコン:λ= 1.1 – 10 µmの場合、n = 3.5(NIRからIR)
溶融シリカ:λ= 0.2 – 2.5 µm(UVからIR)でn = 1.45

Advantages

正確なレンズ配置:リソグラフィプロセス
ピッチ精度は通常<0.25µm

精密なレンズ形状
エッチング中のROCおよび円錐制御
低表面プロファイル偏差(標準<25nm RMS)

高い表面品質
低表面粗さ(通常<2nm RMS)

ウェーハレベルの製造
大容量の拡張性

Materials

100mm〜200mmウェーハ対応のクリーンルーム マイクロオプティクスは主に150および200mmウェーハで行われます。
ウェーハには「フラット」または「ノッチ」がありません(標準の半導体ウェーハとは異なります)

Material Standard thickness (mm) Tolerances (typical)
Fused silica 0.5 / 0.6 / 1.0 / 1.6 ± 0.025 mm
Silicon 0.15 / 0.25 / 0.38 / 0.5 / 0.7 / 1.0 ± 0.015 mm / 0.025 mm

他にも厚さ、許容誤差が可能です。ご相談ください。

アライメントマークとデータ
上下左右の位置に配置された位置合わせマーク
フルウェーハまたはダイシングされたウェーハとして出荷された場合に利用可能なウェーハマップとデータファイル

FCA Microlenses

Axetrisのファイバーカップリングマイクロレンズアレイは、光通信用のシングルモードファイバーアレイに効率的に光を結合するように最適化します。

・超コンパクトサイズ
・低挿入損失
・ROC、Conic、pitchの高い均一性
・Telcordia準拠

Technical Data

Array pitch μm 50-1250 (± 0.25 μm)
Lens diameter μm 50-1200

LDC Microlenses

Axetrisのレーザーダイオードコリメーションマイクロレンズは、端面発光レーザーダイオード(LD)および垂直共振器面発光レーザー(VCSEL)の効率的なコリメーションのために設計および最適化されています。 アプリケーションには、レーザーダイオードのコリメーションや、光ファイバー通信や光センシング用のフォトダイオードへの焦点合わせなどがあります。

・高い結合効率
・高いN.A.
・回折限界
・Telcordia準拠

Refractive and Diffractive Optics

Refractive Optics
・マイクロレンズ
・マイクロレンズアレイ
・球面/非球面
・絞り10 µm-1.5 mm

Diffractive Optics
・回折格子
・回折光学素子(DOE)
・透過性と反射性
・バイナリ…16レベル
・周期3 µm…1 mmより大きい

SAC Microlensehsh

Axetrisの遅軸コリメータは、高出力レーザーダイオードとバーの「遅軸」をコリメートするために設計された円柱マイクロレンズのアレイです。これらは、当社のファストアクシスコリメータと組み合わせて使用できます。

・«slow axis»のコリメーション
・ビーム非点収差の補正
・高出力レーザーダイオード、バーと互換性があります
・最小限の散乱損失、低表面粗さ
・速軸コリメータに適合

Shack-Hartmann Lens Arrays

AxetrisのShack-Hartmannレンズアレイは、Shack-Hartmann波面センサーの心臓部です。これらのマイクロレンズアレイは、フューズドシリカとさまざまな焦点距離で入手できます。

・回折限界
・優れた表面品質
・インタースティシャルマスキング(オプション)
・長い焦点距離

Technical Data
Details

Focal length mm 5.6 - 15
Surface profile deviation μm < 30 rms

MEMS Manufacturing

コンセプトモデルから大量生産まで、OEMメーカーにカスタム製造ソリューションを提供しています。当社のファウンドリは200mmおよび150mmのウェーハサイズに対応しており、ウェットケミストリー、リソグラフィ、薄膜処理などの標準のMEMSプロセスが含まれています。 当社の高水準の品質管理は、一連の計量システムと、TS 16949のガイドラインに従うすべての生産プロセスを支える最新の統計手法の使用によって保証されています。ISO9001:2015認定企業として、 一貫したレベルでの品質レベルを保ちます。

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